5 月 28 日消息，佳能中國官方宣布，將在 2024 年 6 月上旬發(fā)售支持使用第 6 代玻璃基板的 FPD 曝光設備新品 MPAsp-E1003H。

▲ MPAsp-E1003H

IT之家注：FPD 即平板顯示器（Flat panel display），大家常見的產(chǎn)品一般可分為 LCD、OLED、LED、PDP、ELD、FED、投影顯示等不同類型。

▲ 車載大型特殊顯示器（示意圖）

佳能表示，這款產(chǎn)品采用了投影光學系統(tǒng)，可實現(xiàn) 1.5μm（L／S）的高分辨率，且一次曝光幅度擴大約 1.2 倍，使生產(chǎn)能力將進一步提升。

據(jù)介紹，該投影光學系統(tǒng)曾用于“MPAsp-H1003H”，可用于生產(chǎn)使用第 8 代玻璃基板一次性曝光、用于大型電視等的 65 英寸面板。

在一塊玻璃基板上，如果生產(chǎn)智能手機面板等產(chǎn)品，此前需要 6shot 曝光，而新產(chǎn)品僅需 4shot 曝光，生產(chǎn)性能大幅提升。此外，在生產(chǎn)車載橫向大型特殊顯示器時，也可以做到無接縫 2shot 曝光。且，玻璃基板搭載臺的驅(qū)動速度提升約 60%，tact time 提升約 14%，有效提升了量產(chǎn)效率。

佳能表示，新產(chǎn)品除了采用和支持第 6 代玻璃基板的“MPAsp-E813H”一樣的每塊面板多點同時測量的對位方式（既保證了生產(chǎn)效率也實現(xiàn)了高精度曝光），還搭載了新開發(fā)的非線性補正 REI（Real-Time Equalizing distorted Image）模塊，從而使其即使曝光幅度擴大也能實現(xiàn) ±0.30μm 高套刻精度。

此外，新產(chǎn)品沿用了曾經(jīng)搭載在“MPAsp-H1003H”上實現(xiàn)了超分辨率技術的照明模式切換機構，可根據(jù)需要曝光圖案的種類進行照明模式切換，從而適配各類制造工序的曝光。

這款新產(chǎn)品在形成圓弧光的機構中，配備曝光狹縫自動調(diào)整機構（SIC：Slit Illuminance Control）。通過自動控制光線通過的狹縫寬度，可以改變曝光光線的強度分布，從而實現(xiàn)穩(wěn)定的曝光線寬。

同時，新產(chǎn)品還采用了可配合曝光布局自由選擇玻璃基板縱橫方向的 universe chuck，首次實現(xiàn)可應對車載顯示器多樣化布局需求。佳能表示，MPAsp-E1003H 通過強化上述制造工序的工藝應對能力，制造質(zhì)量更加穩(wěn)定。